• 外形尺寸

• 11500(L)x5600(W)x2500(H)

• 平臺高度

• 900mm ±30mm

• 產能

• ≥30PPM（cell）

• 產品一次合格率

• ≥ 99.5%

• 設備電壓

• AC380V±10V

• 額定功率

• 110KW

• 設備氣壓

• 0.5Mpa～0.7Mpa